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掃描電鏡是一種用途廣泛的科學(xué)研究儀器,是通過電子束來成像的,，其放大倍數(shù)可達(dá)幾十萬倍，分辨率可達(dá)納米級別，是形貌和成分分析領(lǐng)域極其重要的一種工具。$n掃描電鏡測試項目：$nSEM：形貌觀察，利用背散射電子（BEI）和二次電子（SEI）來成像，可放大倍率5-100萬倍 。$nEDS：成分分析（半定量），通過特征X-RAY獲取樣品表面的成分信息，測量Be及以上元素。

場發(fā)射掃描電鏡測試?yán)脠霭l(fā)射電子槍產(chǎn)生高能量的電子束，當(dāng)電子束與樣品相互作用時，會產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。二次電子主要來自樣品表面淺層，對樣品表面形貌非常敏感，可用于觀察樣品的表面細(xì)節(jié)；背散射電子則與樣品原子序數(shù)有關(guān)，通過分析背散射電子的信號可以了解樣品表面不同區(qū)域的成分差異。

SEM掃描電鏡檢測是一種在材料科學(xué)和納米科學(xué)領(lǐng)域中廣泛使用的設(shè)備，其能力使它成為研究微觀結(jié)構(gòu)和性能的重要工具。